Dafür sind sowohl procexp als auch procmon gut geeignet . Wenn der Prozess ein Handle für die betreffende Datei enthält, führen Sie einfach procexp aus und wählen Sie im Suchmenü die Option "Handle oder DLL suchen". Geben Sie dann einen Teil des gesuchten Dateinamens ein.
Alternativ (und wie in den Kommentaren zu der Frage erwähnt) können Sie mit procmon zum Beispiel eine Datei namens readme.txt suchen, um den Filterdialog zu öffnen und den Filter so einzustellen:
Drücken Sie dann die Schaltfläche Hinzufügen. Stellen Sie sicher, dass keine anderen Prozesse ausgeschlossen sind, die möglicherweise Ihre Datei berühren.
Dann beginnen Sie mit dem Erfassen von Ereignissen und lehnen Sie sich zurück und warten Sie.